管道置换-管道置换-念龙化工

危险气体的特别事项
作为半导体晶圆代工厂气体的使用者，每一位工作人员都应该在使用前对各种危险气体的安全数据加以了解，并且应该知道如何应对这些气体外泄时的紧急处理程序。一般来讲，我们将有三重**来防范万一有意外发生的危险气体外泄进入到工作环境中。一个是特种气体的气瓶以及全部经过正负压测漏的气体输送管路；*二个是持续不断的排气抽风系统（Exhaust），管路节点如气瓶柜、VMB、工作台等均具有很强排气抽风系统，以确保每一管路节点外围都处于负压环境。若发生微量的有毒气体的泄漏，排气抽风系统将******时间抽出；另外一个很重要的是处于抽风口或环境点的毒性气体侦测器系统，若发生任何有毒气体的泄漏将会被气体侦测系统所侦测到，这个控制系统将根据气体外泄对人体危害的大小来确定整个气体输送系统的相关互锁动作，严重时紧急关闭上游所有气源，同时会驱动中央控制室和现场的相关报警系统LAU，甚至会驱动全厂的自动语音广播系统通知立即疏散，管道置换，要求相关人员*撤离报警区域。因此只要工程技术人员严格按照所制定的标准作业程序操作，所有这些安全装置都将确保人员不会有安全上的顾虑。

注氮过程险的预防

为避免注氮过程中的风险，施工人员应首先将清管器置入

管道，继而逐渐排出管道中的氧气，打开出站阀门，注入

。在此基础上，应采用以下手段对风险进行预防 ：(1) 人的

不安全行为预防 ：确定操作员工的精神状态及技能能力是否

满足工作需要。(2) 工艺检查 ：施工人员应于置换前，对注

氮设备进行检查，判断设备连接是否完好，避免发生泄露，

以免导致高浓度的对施工人员的安全造成威胁。(3) 现场

工作环境检查，密闭环境或容集聚的场加强通风，或采取

强制通风措施。(4) 应急措施到位 ：工作现场有相应的应急预案

并有与之对应的应急救援器材。