置换装置
工作原理:由于氮的化学性质不活泼,不容易与其它物质发生化学反应,以及具有比轻的特性,利用瓶的压力进行置换。
①操作准备。首先,将事故槽车、新调槽车进行接地,以消除静电。其次,连接置换装置。具体是:将瓶出口通过直径为25mm的管线与事故槽车气相管连接,实验室气路设计规范,将空载槽车的液相管与事故槽车的液相管通过直径为50mm的管线连接。②开始操作。开启瓶等有关阀门进行置换。由于在瓶出口处设有压力表、单向阀和闸门,所以,在逐一更换瓶时较为方便。置换装置,实验室气路设计图纸,用于汽车改装检测设备,置换设备用于将空气抽出进行置换,抽真空对为-0.086mpa,抽完真空后置换进去,的压力为0.2mpa,置换装置包含真空表,压力表,高压管,底座四个移动轮等。
实验室气路安装5
气体管件在安装时,施工原则是应尽可能地以连续式且无接口的方式进行,这样可以减少使用接头的数量,降低潜在的气体泄漏风险。管件与管件间的连接***好以轨道式焊接法(Orbital Welding)来接合,对于不锈钢的焊接要采用弧焊,实验室气路设计流程,并向施焊管内通入同等纯度的气,这样可以确保连接的品质,并防止管件内壁因不当的焊接而沉积碳,实验室气路设计,从而造成气体管件的污染。管件与各种配件之间的连接必须以金属面对金属面密封(Metal to metal face seal)的方式进行。一般晶圆厂比较常用的气体管路连接的接头方式有VCR 和Swagelok两种,具体选用形式应根据生产工艺对高纯度气体的用气要求和气体本身特性进行选择。一般情况下,VCR式的接头主要用在制程气体以及危险气体的传输上,管路连接后接头里面的垫圈(Gasket)将会适度变形以确保管路每秒低于10 -9cc的氦气泄漏率(Leakage Rate)。不过在接合时要避免因拴得太紧而导致不锈钢垫圈过度变形造成接合不良或气体外泄。Swagelok 接头通常用在惰性气体、以及CDA等气体的传输上,因为这些气体可以容许一定的外泄率,所以不常用成本较高且须焊接的VCR式接头。总的来说,管件的安装原则是应尽可能减少管件的长度、接头和阀件的数量,因为大多数的危险气体的泄漏都发生在施工不当的接头和阀件接合处。
(1)管道系统全部按设计文件施工完毕;
(2)管道安装位置正确,数量齐全,紧固程度、干燥质量合格;
(3)施工前应对管线、阀门、设备进行检查,其开闭状态应符合要求,管道设备不准同时进行其他作业
(4)在施工现场立警告标志,未经许可人员禁止入内
(5)置换首末端要采用大范围警示带提醒,如无法避免交叉作业时,应佩戴便携式气体检测仪
(6)有足够的空间摆放设备,空压机连接制氮设备稳固。出口连接位置正确,标志明显。检查所有软管,管件、接头和阀门的正确压力等级。控制和保护注气管和软管的安全
(7)用于检测管道末端及氧气浓度用的气体分析仪的量程、精度等级、检定其符合要求,并备有当前校验证书。
(8) 有经批准的置换方案,施工人员经过技术交底。
(9) 对置换前由于其它原因导致尾项遗留的要在检查中填写尾项记录,和相关人员确认签字,尾项消项后要经过确认。
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