高纯气体输送系统对设计方案的要求
整 个输送系统必 须有高度的 气密性 和严格的沽净度 。 供气方式的选择 、 一个集 中 目前国 内还没有 区域性 的 管道供气方式, 除 自备 “ 空 分 ” 装 置 外 , 大多 为商品 气、 诸如北 京 、 上 海 、 江 苏、 浙 江 的 一 些集成 电路厂越来越多地改用 液态 源集 中气 化供应 , 据说在 公里范围 内有液态源 , 还 是有使用的可取之 处 , 然 而不论是 用 液态 还 是气态 , 将贮存容器集 中输送为 好 , 更有利于 安全管理、 两种选择 图 是上 无 十 四 厂 气站 直 接 向 各 车 间 供应 电子纯液氧 , 的系统流 程 图 。 *二种选择 , 我们可 以参照 图 ,氧气管道置换, 它是贝 岭公司气站集 中供应 个 液氧再经纯 化装置后 向工艺车间供应高纯氮 , 高纯 氧的 系统流程图 。 、 三个方式丫夕、, 户 气站高纯气 使用点 关于管径和管路形式 气体输送系统的详细设计固然要以有关 技术规 程 和 安全 法 规为基 础 , 进行 流量 估 算 ,液氨管道置换, 采用经济合理的流速 ,管道置换, 考虑到使用压力和 管阻及输送距离 , 确定合理的管径和管路形 式。 在上无 四 厂 , 我们对多个生产车伺 , 采 用在气站设 分气 缸 图 作 辐射 状安装 , 各车间管径相 同, 独立一路, 力避相互窜气干 扰 , 保持工作 压 力 稳定 当 时设计 压 力 仅为 一 勺, 使用管理和维护方便 , 而在贝岭‘ 公司全部管路成树枝状 延伸 , 干 管统一为 一 个 口 径 支管 又 统 一 为 一 个 口 径 。
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采用不锈钢材质管路以及不锈钢接头卡套,管道置换,全通阀芯,坚固耐用。
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管道置换前应由施工单位、监理单位、建设单位和生产部门联合检查确认现场置换条件
当所填充管段内压力达到规定压力,经测氧仪检测末端出口氧气浓度含量应小于规定值,并且连续3次(每次间隔5分钟)达到此值,注氮作业合格予以验收。
验收合格后,如果不立即引入,应对置换管段进行密封保存。填写并完善管道置换记录。