实验室气路设计-念龙化工-实验室气路改造设计安装

实验室气路安装5
气体管件在安装时，施工原则是应尽可能地以连续式且无接口的方式进行，这样可以减少使用接头的数量，降低潜在的气体泄漏风险。管件与管件间的连接***好以轨道式焊接法（Orbital Welding）来接合，对于不锈钢的焊接要采用弧焊，并向施焊管内通入同等纯度的气，实验室气路设计，这样可以确保连接的品质，并防止管件内壁因不当的焊接而沉积碳，从而造成气体管件的污染。管件与各种配件之间的连接必须以金属面对金属面密封（Metal to metal face seal）的方式进行。一般晶圆厂比较常用的气体管路连接的接头方式有VCR 和Swagelok两种，具体选用形式应根据生产工艺对高纯度气体的用气要求和气体本身特性进行选择。一般情况下，VCR式的接头主要用在制程气体以及危险气体的传输上，管路连接后接头里面的垫圈（Gasket）将会适度变形以确保管路每秒低于10 -9cc的氦气泄漏率（Leakage Rate）。不过在接合时要避免因拴得太紧而导致不锈钢垫圈过度变形造成接合不良或气体外泄。Swagelok 接头通常用在惰性气体、以及CDA等气体的传输上，因为这些气体可以容许一定的外泄率，所以不常用成本较高且须焊接的VCR式接头。总的来说，管件的安装原则是应尽可能减少管件的长度、接头和阀件的数量，因为大多数的危险气体的泄漏都发生在施工不当的接头和阀件接合处。

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1、置换设备的衔接收。衔接收是由厂家定型出产，管线直径为25毫米，它的耐压强度不低于6.4兆帕；在管的两头设有疾速接头。参阅国家规范规则和安全操作需求，实验室气路设计安装，管线描绘长度为15米，管线与管线之间由疾速接头衔接，在衔接收线与瓶衔接端设有压力表、单向阀（在替换瓶时避免倒流）和闸口（是单向阀的弥补，当单向阀失掉作用时，操作此阀），由疾速接头衔接瓶出口。

2、置换设备的衔接收。衔接收的两头别离与事端槽车的液相管和处置事端集结来的空载槽车液相管衔接。管线是由厂家定型出产，直径为50毫米，它的耐压强度不低于6.4兆帕。参阅国家规范和安全操作需求，管线描绘长度为30米，为便于实地操作及管线的带着，描绘每10米长的管线3根，管线与管线之间、管线与槽车之间均由疾速接头衔接。

3、置换设备的异径疾速接头。加工二个50mm变25mm的异径疾速接头。以备事端槽车因，气相管被液态吞没时运用。

4、瓶。用于置换的选用纯度为99.5%的一般，气瓶规范为GB3864—83，容积为40升，压力为12±0.5Mpa。

5、置换设备的槽车。当时，遍及运用的汽车槽车主要是国产的，还有必定数量由国外进口的。